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准分子激光微抛光
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抛光在近代加工技术发展中是十分重要的工艺环节。随着工业化程度的提高和广义经济活动的加剧，抛光工艺不断产生和丰富，形成了针对不同材料和加工要求的多种方式。研磨抛光（机械）、化学抛光、电解抛光、火焰抛光等等。已有的抛光方法中，抛光液、磨料、磨具和加工工件都有接触，这种接触一方面可能对材料产生机械变形和其他作用，另一方面表面导致的污染物容易产生表面锈蚀、着色等化学影响，需要进行镀膜等后续表面处理工艺激光抛光是随着激光技术的发展而出现的一种新型材料表面处理技术，它是用一定能量密度和波
长的激光束辐照特定材料，使其表面薄层物质熔化或蒸发而获得光滑表面。激光抛光可以抛光传统方法很难或根本不可能抛光的、具有非常复杂形貌的表面，是一种很有前途的新型材料加工技术。
激光微抛光技术的研究以激光对玻璃微抛光的研究作为开始。Y. M. Xiao and Michael Bass，采用300 CW CO2激光对熔融石英和Pyrex玻璃进行抛光，是激光抛光研究的较早报道。他们有意识地用600号砂纸打磨Pyrex玻璃，然后用光束直径是11mm的CO2激光进行照射。实验结果表明激光抛光可以对砂粒磨痕进行有效消除。西班牙学者F.Laguarta课题组同样采用CO2激光为抛光工具，抛光光学材料（TRC-33）表面，RMS方均根值从初始约500nm到最后低于10nm 。日本东海大学电子工程系Masataka Murahara等人采用了光化学辅助反应的抛光机理，采用ArF准分子激光通过石英片辐照在碳氟化合物基盘上。在他们报道中，该方法获得的研磨粗糙度达到1nm。土耳其安卡拉中东技术大学物理系M. Udrer等，采用10WCO2激光对石英光纤的端面进行了抛光试验研究。在140 W/cm2参数下，获得最佳辐照时间为6秒。最后获得了300nm~1mm的粗糙度。其采用原子力显微镜获得的照片结构表面熔化机理在抛光过程中是非常明显的。英国赫瑞特瓦特大学工程和理学院Krzysztof M. Nowak等，也报道了采用CO2激光抛光石英光学元件的研究[7]。我国华中科技大学和华南理工大学的科研人员，也开展了激光抛光技术的相关研究。
在以上基础上，使用准分子激光，对铝合金（7075）和不锈钢（304）两种合金材料进行微抛光试验，探讨微抛光效果和激光参数之间的关系。
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