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微电子制造科学与工程_第二章 半导体衬底
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第二章 半导体衬底 微电子制造科学与工程
1. 课件 PDF版 2017年3月8日更新
2 半导体衬底20170308-07.pdf
2. 重要文档
硅片提纯，Siemens Process，Silicon_Purification.pdf 2013年2月22日更新
晶片规格(wacker) wacker_wafer_spec.rar 2013年2月22日更新
工艺过程， GG 综述用 Silicon Crystal Structure and Growth _英文.pdf 2014年3月18日更新
3. 视频 2013年2月22日更新
视频一，多晶硅的制备，英文解说（WACKER）
视频二，硅片加工工程（高清），硅片加工过程全模拟（SVTII）， 单晶硅CZ英文解说
视频三，超薄硅片热处理
视频四，区熔法单晶提纯
部分资源来源于网络，仅做教学之用
https://m.sciencenet.cn/blog-652849-551390.html
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