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推荐3本MEMS书籍
coofish
2010-10-25 13:05
1、 微机电系统(MEMS)原理、设计和分析 ,作者:田文超 内容简介:《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识,内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》可供高等学校机械、电子、仪器、微电子器件专业高年级本科生和研究生使用,也可为相关工程技术人员及科技管理人员提供参考。 2、 MEMS可靠性 ,作者:田畑修 内容简介:《MEMS可靠性》是国际上MEMS可靠性领域第一本专著,共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微纳压痕仪,鼓胀测试,弯曲测试,单轴张应力测试,片上测试;第二部分论述MEMS器件的可靠性,包括压力传感器可靠性,惯性传感器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。内容新颖,数据充实,适合于微机电系统、微电子、光电子、传感器、通讯技术领域的高年级大学生、研究生和工程技术人员参考。 3、 微机电系统应用 ,作者:Mchanied Fed-el-Hak 内容简介:《微机电系统应用》是MEMS系列图书中的一本,主要介绍MEMS技术应用方面的知识。内容包括:惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器、微热管和微散热器、微通道热沉、流动控制、用于边界层减阻的反应式控制、自由剪切流的MEMS自主控制。《微机电系统应用》主要面向MEMS专业的高年级本科生和研究生,也可供MEMS技术研究人员参考。
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个评论
[转载]维基百科创始人:报纸书籍的寿命还很长
XUPEIYANG
2010-9-5 16:17
http://www.sina.com.cn 2010年09月05日16:14 新浪科技
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