标签: MEMS元件

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IMEC等利用MEMS元件振动发电达85μW: yyt1 2009-12-11 10:19; 【IEDM】IMEC等利用MEMS元件振动发电达85W http://china.nikkeibp.com.cn/news/semi/49238-20091210.html 2009/12/11 00:00 比利时研究机构IMEC、荷兰研究机构Holst Centre与TNO在2009 IEEE International Electron Devices Meeting（IEDM 2009）上宣布，联合开发出了将振动能量转换为电力的MEMS元件，并获得了最大85W的电力。此前IMEC开发出的MEMS元件中，最大电力为60W。利用振动发电实现完全自主工作的温度传感器　　此次的元件是采用6英寸硅晶圆形成硅MEMS，然后在此处积层压电材料AlN（氮化铝）后制作出来的。原来压电元件一直采用PZT（锆钛酸铅）。AlN在积层时无需精密调整铝（Al）与氮（N）的比例，积层速度比PZT快3倍。通过改变MEMS的尺寸等，元件的谐振频率可设定在150～1200Hz的范围内。　　另外，IMEC等还将该MEMS元件实际封装于无线发送数据的温度传感器中。该温度传感器以10W的电力工作，因此一旦施加加速度为0.64g、振动频率为353Hz的振动，便可每隔15秒向基站传送温度数据。（记者：野泽哲生）; 个人分类: 科学研究|2596 次阅读|0 个评论

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