【IEDM】IMEC等利用MEMS元件振动发电达85μW

http://china.nikkeibp.com.cn/news/semi/49238-20091210.html

2009/12/11 00:00

        比利时研究机构IMEC、荷兰研究机构Holst Centre与TNO在“2009 IEEE International Electron Devices Meeting（IEDM 2009）”上宣布，联合开发出了将振动能量转换为电力的MEMS元件，并获得了最大85μW的电力。此前IMEC开发出的MEMS元件中，最大电力为60μW。

利用振动发电实现完全自主工作的温度传感器

　　此次的元件是采用6英寸硅晶圆形成硅MEMS，然后在此处积层压电材料AlN（氮化铝）后制作出来的。原来压电元件一直采用PZT（锆钛酸铅）。AlN在积层时无需精密调整铝（Al）与氮（N）的比例，积层速度比PZT快3倍。通过改变MEMS的尺寸等，元件的谐振频率可设定在150～1200Hz的范围内。

　　另外，IMEC等还将该MEMS元件实际封装于无线发送数据的温度传感器中。该温度传感器以10μW的电力工作，因此一旦施加加速度为0.64g、振动频率为353Hz的振动，便可每隔15秒向基站传送温度数据。（记者：野泽 哲生）

转载本文请联系原作者获取授权，同时请注明本文来自虞益挺科学网博客。
链接地址：https://m.sciencenet.cn/blog-249512-277774.html

上一篇：加勒比海盗组织的双核管理
下一篇：MEMS告别平淡，2010年将迎来强劲增长