一般干涉仪不能解决大误差问题，可莫尔条纹法比较适用，这样的仪器有时也叫莫尔条纹干涉仪。其基本思想是将一组光栅投影到物体表面，通过弯曲状况判断表面高低。

1。基本原理示意图：

2。组成部分

3。后处理

上图是一只脚的扫描结果。

4。讨论

上面利用条纹进行表面形貌测量，推广开讲，如果ccd对明暗的分辨能力够高，且反射面光滑度一致，仅利用成像表面灰度分布（能量密度受入射角和观察角影响）也能作出评估。

(words and figures are adoptd from James.C Wyant)

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