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特约综述——波面干涉测量中的可变像差补偿技术

已有 3146 次阅读 2017-3-29 14:17 |系统分类:论文交流|关键词:学者| 国防科技大学, 特约综述, 陈善勇, 面形测量, 可变像差

作者：陈善勇卢劲丰薛帅
单位：国防科学技术大学机电工程与自动化学院

　　以非球面为代表的复杂面形在现代光学系统中的应用越来越广泛，因为它比球面提供了更多的设计自由度，可用更少的元件达到更优的成像质量。然而非球面的多样性也带来了面形测量的难题，传统的零位测试没有灵活适应不同面形的能力。可变像差补偿技术对于提高检测柔性和效率具有重要意义。本文针对回转对称非球面的球差补偿，分析了部分补偿透镜、相位板组合和高次非球面单透镜等可变补偿方案;针对离轴非球面的像差补偿，分析了倾斜球面系统、Risley棱镜和双回转相位板的可变补偿方案;进而介绍了变形镜和空间光调制器作为可编程补偿器用于波面干涉测量的研究进展。最后指出可变补偿技术面临的大范围和多模式像差补偿、回程误差补偿以及失调像差解耦三个主要问题。

　　(本文发表在《激光与光电子学进展》2017年第4期，点击查看全文)　　